VSS - 300 真空工藝烘箱
VSS - 300 回流焊系統(tǒng)是一款出色的設(shè)備，適用于多種焊接工藝，可處理直徑達(dá) 300 毫米的晶圓，或 300 毫米 ×300 毫米、高度 75 毫米的基板（選配件：EH 型，高度 120 毫米 ）。
應(yīng)用示例如下：
可作為實(shí)驗(yàn)室爐，供各類研發(fā)人員實(shí)施和研究新工藝、進(jìn)行原型研究、環(huán)境研究，以及用于小批量試產(chǎn)或量產(chǎn) 。
工藝氣體
VSS - 300 可使用標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體，如氮?dú)狻⒀鯕狻⑿纬蓺猓ㄟ€原氣 ）。腔室密封，易于清潔 。
氣流控制
默認(rèn)配置一路帶質(zhì)量流量控制器（MFC ）的氮?dú)饬髀罚? 標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘 ），還可增配三路氣路（選配件：MFC ） 。
真空度
系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)真空度達(dá) 10?3 百帕（可選配至 10?? 百帕 ） 。
加熱
可達(dá)到的最高溫度為 450°C（選配件：650°C ）。關(guān)鍵特點(diǎn)是精準(zhǔn)控制的快速升溫（150 開(kāi)爾文 / 分鐘 ）以及出色的降溫速率（取決于溫度和負(fù)載 ） 。
溫度分布
VSS - 300 能實(shí)現(xiàn)的溫度分布與均勻性。可選配在石英底板上插入石墨基座 。
編程控制
VSS - 300 由 SPS SIMATIC® 控制器控制。7 英寸觸摸屏讓工藝編程與控制十分便捷。最多可存儲(chǔ) 50 個(gè)程序，每個(gè)程序含 50 個(gè)步驟（可從外部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備無(wú)限制地上傳、下載程序 ） 。
工藝控制
軟件可對(duì)以下參數(shù)進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測(cè)、讀取和分析：

工藝氣體
除氮?dú)狻⒀鯕狻⒊尚螝獾葮?biāo)準(zhǔn)工藝氣體外，該系統(tǒng)（取決于型號(hào)）還可使用純氫氣（可選配 H2 和 HS2）。腔室采用密封設(shè)計(jì)，易于清潔。選配 RSS-FA 可使用甲酸，以實(shí)現(xiàn)無(wú)空洞焊接效果。

流量控制
標(biāo)配 1 條帶質(zhì)量流量控制器（MFC）的氣體管路。甲酸模塊（RSS-FA）或 100% 氫氣（RSS-H2）等選配件，由獨(dú)立質(zhì)量流量控制器控制或共用氣體管路。

真空
系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn) 10?3 百帕的真空度。可選配件包括膜片泵、耐化學(xué)泵（使用 RSS-FA 時(shí)推薦）和旋片泵。

溫度分布
最高溫度為 400°C（可選配至 500°C）。核心特點(diǎn)是精確控制的快速升溫（取決于型號(hào)，最高 240 K / 分鐘）和降溫速率（最高 120 K / 分鐘）。熱板具有優(yōu)異的溫度分布性和均勻性。

編程

系統(tǒng)配備 7 英寸觸摸屏，可直接在設(shè)備上便捷編程。可存儲(chǔ) 50 個(gè)程序，每個(gè)程序含 50 個(gè)步驟。可從外部存儲(chǔ)介質(zhì)無(wú)上傳和下載程序。

• 溫度

• 工藝氣體流量

• 冷卻水位狀態(tài)

• 壓力值及狀態(tài)