Model 656 紫外線光強與能量計

半個多世紀以來，OAI 在用于半導體、微機電系統（MEMS）、晶圓封裝和晶圓凸點制造等行業光刻工藝可靠、精準校準控制的紫外光強與能量測量儀器領域。新型 656 型是一款*的紫外曝光分析儀，專為接觸式 / 近接式掩模對準器和泛光曝光系統設計。該儀器可存儲多達 400 組曝光讀數，配備以太網和 USB 接口用于下載記錄的測量數據，光強量程最高可達 2000 毫瓦每平方厘米。探頭可選波長包括 220 納米、248 納米、260 納米、310 納米、325 納米、365 納米、380 納米、400 納米、420 納米、436 納米和 540 納米。OAI 擁有完備的校準實驗室，以保障我們儀器的性能、質量和可靠性。656 型儀器可溯源至美國國家標準與技術研究院（NIST）標準，且符合歐盟 RoHS 2（《關于限制在電子電氣設備中使用某些有害成分指令》第二版 ）和 CE（歐洲合格評定）認證要求 。

與接觸式 / 接近式對準器配合使用

極其精準且可靠

測量數據易于下載

量程高達 2000 毫瓦每平方厘米

最多可存儲 400 組測量數據

符合 ROHS2（《關于限制在電子電氣設備中使用某些有害成分的指令》第二版 ）及 CE（歐洲合格評定）標準 ，突出產品在環保及合規性方面的屬性 ，用于說明儀器適配場景、性能優勢與合規情況 。

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Model 656 紫外線光強與能量計規格說明

儀表規格

用戶界面：觸摸屏

計算機接口：可選以太網和 USB 接口，用于下載已記錄的測量數據

電源：電池供電，采用帶充電保護的 3.7V 可充電鋰離子電池

充電器電源：110 - 240V 交流電壓

顯示設置：雙屏幕

設置屏幕 - 以太網地址、日期和時間

運行屏幕 - 波長、光強、時間、劑量、探頭溫度、探頭類型、偏差百分比、序列號、校準到期日期、電池狀態、探頭序列號和充電器狀態

存儲容量：最多 400 個讀數

光強范圍：最高 2000mW/cm2

光強分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：最高 1000J/cm2

劑量分辨率：0.01mJ/cm2

時間范圍：最長 9999 秒

時間分辨率：0.0001 秒

最小劑量曝光：25 毫秒

尺寸：14 英寸 ×8.25 英寸 ×3.5 英寸

重量：3.5 磅

工作環境：15℃ - 40℃

合規性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標準

探頭規格

探頭探測器：硅光電二極管

可選波長：220nm、248nm、254nm、260nm、310nm、325nm、365nm、380nm、400nm、420nm、436nm 和 540nm

濾光片：多層吸收 / 電介質濾光片

光強范圍：最高 2000mW/cm2

互換性：任何 656 型探頭均可與任何 656 型儀表配合使用

合規性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標準